在CST晶圓盒上安裝TI Tag標(biāo)簽，標(biāo)簽內(nèi)錄入CST晶圓盒材料的信息。在工藝設(shè)備AGV搬運(yùn)CST時(shí)，半導(dǎo)體RFID讀寫器會(huì)通過無線射頻信號(hào)識(shí)別CST晶圓盒上的TI Tag標(biāo)簽信息，獲取所運(yùn)輸CST晶圓盒的信息，并根據(jù)TI Tag標(biāo)簽信息中CST晶圓盒材料的種類將其運(yùn)輸?shù)綄?duì)應(yīng)的目的地，同時(shí)記錄下此次運(yùn)輸?shù)臅r(shí)間，并將運(yùn)輸時(shí)間、CST晶圓盒種類、運(yùn)輸目的等信息上傳到管理系統(tǒng)中，系統(tǒng)根據(jù)CST晶圓盒信息對(duì)進(jìn)行生產(chǎn)計(jì)劃庫存管理，實(shí)現(xiàn)運(yùn)輸過程中的自動(dòng)化和智能化。