在CST晶圓盒上安裝TI Tag標簽,標簽內(nèi)錄入CST晶圓盒材料的信息。在工藝設備AGV搬運CST時,半導體RFID讀寫器會通過無線射頻信號識別CST晶圓盒上的TI Tag標簽信息,獲取所運輸CST晶圓盒的信息,并根據(jù)TI Tag標簽信息中CST晶圓盒材料的種類將其運輸?shù)綄哪康牡?,同時記錄下此次運輸?shù)臅r間,并將運輸時間、CST晶圓盒種類、運輸目的等信息上傳到管理系統(tǒng)中,系統(tǒng)根據(jù)CST晶圓盒信息對進行生產(chǎn)計劃庫存管理,實現(xiàn)運輸過程中的自動化和智能化。