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亞納米
上海微系統(tǒng)所實現(xiàn)片上亞納米量級的超靈敏位移傳感
近日,中國科學院上海微系統(tǒng)所信息功能與材料國家重點實驗室硅光子課題組研究員武愛民團隊、深圳大學教授袁小聰、杜路平團隊及英國倫敦國王學院教授Anatoly V. Zayats課題組合作,在硅襯底上提出了基于布洛赫表面光場的非對稱傳輸特性實現(xiàn)超靈敏位移測量的方法,并實現(xiàn)了亞納米級的位移傳感。
07/07