歐姆龍開發(fā)燃料電池用MEMS流量傳感器

        歐姆龍于2011年1月14日發(fā)布了可測(cè)量燃料電池氣體流量的新款MEMS流量傳感器“形D6F-70”。此前產(chǎn)品可測(cè)量的最大流量為50升/分，而此次的產(chǎn)品提高至70升/分。2011年1月25日開始上市。2013年度的銷售目標(biāo)約為20萬個(gè)。 

       該產(chǎn)品設(shè)想用于家用燃料電池系統(tǒng)空氣極的流量控制。該用途“需要具有70升/分的檢測(cè)性能”（歐姆龍），因此對(duì)原產(chǎn)品作了改進(jìn)?！巴ㄟ^改進(jìn)內(nèi)部流路的構(gòu)造而實(shí)現(xiàn)”（該公司）。配備的MEMS流量傳感器元件與原產(chǎn)品相同，尺寸為1.55mm×1.55mm×0.4mm。形D6F-70的外形尺寸為84.6mm×32mm×30mm。 

       歐姆龍計(jì)劃2012年度上市可測(cè)量的最大流量為200升/分的產(chǎn)品。該產(chǎn)品將用于商用燃料電池系統(tǒng)等。