國內(nèi)首臺晶圓自動翻轉(zhuǎn)倒片機成功研發(fā)

近日，北京京儀自動化裝備技術(shù)有限公司經(jīng)過多年探索，成功研發(fā)出國內(nèi)首臺晶圓自動翻轉(zhuǎn)倒片機，破解了國產(chǎn)晶圓自動翻轉(zhuǎn)倒片機自動化難題。

據(jù)悉，晶圓倒片機是用來調(diào)整集成電路產(chǎn)線上晶圓生產(chǎn)材料序列位置的一款設(shè)備，它的任務(wù)是將產(chǎn)線上的晶圓通過制程需要進行分批、合并、翻轉(zhuǎn)后進行下一道程序，這就要求晶圓倒片機擁有極高的傳送效率和潔凈程度。

目前，京儀裝備研發(fā)的首臺晶圓自動翻轉(zhuǎn)倒片機已經(jīng)在上海集成電路研發(fā)中心得到成功應(yīng)用。早期型號倒片機則已經(jīng)在中芯國際、長江存儲等多家企業(yè)得到應(yīng)用。