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德國弗勞恩霍夫研究所搭建MEMS超聲波換能器平臺

作者:本站收錄
來源:MEMS
日期:2021-06-08 09:13:45
摘要:據(jù)麥姆斯咨詢報道,為了支持中小型企業(yè)的開發(fā)和應用,德國弗勞恩霍夫協(xié)會旗下三家研究所正在聯(lián)合搭建一個MEMS超聲波換能器(MUT)平臺。

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據(jù)麥姆斯咨詢報道,為了支持中小型企業(yè)的開發(fā)和應用,德國弗勞恩霍夫協(xié)會旗下三家研究所正在聯(lián)合搭建一個MEMS超聲波換能器(MUT)平臺。

這三家研究所將與產(chǎn)業(yè)界合作伙伴共同開發(fā)各種MEMS超聲波換能器件并試生產(chǎn)。


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該項目由弗勞恩霍夫應用研究促進協(xié)會(Fraunhofer Gesellschaft)提供資金,專門面向中小型企業(yè)。


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MEMS超聲波換能器陣列


近年來,超聲波換能器已成為很多工業(yè)、醫(yī)療和移動應用的基礎器件,例如距離測量、微定位、手勢控制、碰撞傳感、內(nèi)窺鏡檢查和超聲波檢查等。目前,這些專用的超聲波換能器大多由中小型企業(yè)自行開發(fā)和制造。

如今的MEMS超聲波換能器可以實現(xiàn)高度緊湊的傳感系統(tǒng),提供更高的靈敏度,還可以利用陣列實現(xiàn)成像或指向等應用。

此外,還可以避免使用對健康和環(huán)境有害的材料。不過,開發(fā)這些基于半導體的超聲波換能器通常成本很高,這對于許多中小型企業(yè)來說往往難以承受。


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用于超聲成像的壓電MEMS超聲波換能器(PMUT)“我們與弗勞恩霍夫硅技術研究所ISIT和弗勞恩霍夫電子納米系統(tǒng)研究所ENAS一起,希望共同搭建一個MEMS超聲波換能器平臺。利用模塊化的方法,我們可以快速高效地適應和開發(fā)創(chuàng)新的超聲波系統(tǒng),以滿足特定的應用?!备诙骰舴蚬庾游⑾到y(tǒng)IPMS研究所的Arg Amelung說,“通過整合三家研究所的能力,我們創(chuàng)建了一個高效的聯(lián)盟,不僅可以利用技術組合確保廣泛的應用,還擁有能夠進行試生產(chǎn)的基礎設施。這為學術研究和產(chǎn)業(yè)化發(fā)展搭建了橋梁,為中小企業(yè)提供了一個有吸引力的整體方案?!?/span>

作為MEMS超聲波換能器平臺開發(fā)的一部分,將涉及三個核心中小企業(yè)研究領域:超聲波換能器制造技術、人機交互技術以及醫(yī)療應用技術。

弗勞恩霍夫硅技術研究所ISIT“MEMS應用”業(yè)務部門負責人Fabian Lofink博士說:“我們相信,MEMS超聲波換能器的關鍵特性、小型化、靈敏度以及陣列功能,將在這里創(chuàng)造顯著的附加值?!?/p>