德國弗勞恩霍夫研究所搭建MEMS超聲波換能器平臺

據(jù)麥姆斯咨詢報道，為了支持中小型企業(yè)的開發(fā)和應用，德國弗勞恩霍夫協(xié)會旗下三家研究所正在聯(lián)合搭建一個MEMS超聲波換能器(MUT)平臺。

這三家研究所將與產(chǎn)業(yè)界合作伙伴共同開發(fā)各種MEMS超聲波換能器件并試生產(chǎn)。

該項目由弗勞恩霍夫應用研究促進協(xié)會(Fraunhofer Gesellschaft)提供資金，專門面向中小型企業(yè)。

近年來，超聲波換能器已成為很多工業(yè)、醫(yī)療和移動應用的基礎器件，例如距離測量、微定位、手勢控制、碰撞傳感、內(nèi)窺鏡檢查和超聲波檢查等。目前，這些專用的超聲波換能器大多由中小型企業(yè)自行開發(fā)和制造。

如今的MEMS超聲波換能器可以實現(xiàn)高度緊湊的傳感系統(tǒng)，提供更高的靈敏度，還可以利用陣列實現(xiàn)成像或指向等應用。

此外，還可以避免使用對健康和環(huán)境有害的材料。不過，開發(fā)這些基于半導體的超聲波換能器通常成本很高，這對于許多中小型企業(yè)來說往往難以承受。

用于超聲成像的壓電MEMS超聲波換能器(PMUT)“我們與弗勞恩霍夫硅技術研究所ISIT和弗勞恩霍夫電子納米系統(tǒng)研究所ENAS一起，希望共同搭建一個MEMS超聲波換能器平臺。利用模塊化的方法，我們可以快速高效地適應和開發(fā)創(chuàng)新的超聲波系統(tǒng)，以滿足特定的應用?！备诙骰舴蚬庾游⑾到y(tǒng)IPMS研究所的Arg Amelung說，“通過整合三家研究所的能力，我們創(chuàng)建了一個高效的聯(lián)盟，不僅可以利用技術組合確保廣泛的應用，還擁有能夠進行試生產(chǎn)的基礎設施。這為學術研究和產(chǎn)業(yè)化發(fā)展搭建了橋梁，為中小企業(yè)提供了一個有吸引力的整體方案?！?/span>

作為MEMS超聲波換能器平臺開發(fā)的一部分，將涉及三個核心中小企業(yè)研究領域：超聲波換能器制造技術、人機交互技術以及醫(yī)療應用技術。

弗勞恩霍夫硅技術研究所ISIT“MEMS應用”業(yè)務部門負責人Fabian Lofink博士說：“我們相信，MEMS超聲波換能器的關鍵特性、小型化、靈敏度以及陣列功能，將在這里創(chuàng)造顯著的附加值?！?/p>