突破！國產(chǎn)光刻膠又一重磅利好 配方全自主設(shè)計(jì)

光刻膠產(chǎn)業(yè)化再度傳出利好。

據(jù)東湖國家自主創(chuàng)新示范區(qū)官網(wǎng)今日（10月15日）消息，近日武漢太紫微光電科技有限公司（下稱“太紫微公司”）推出的T150 A-光刻膠產(chǎn)品，已通過半導(dǎo)體工藝量產(chǎn)驗(yàn)證，實(shí)現(xiàn)配方全自主設(shè)計(jì)。

該產(chǎn)品“對標(biāo)國際頭部企業(yè)主流KrF光刻膠系列。相較于國外同系列產(chǎn)品UV1610，T150 A在光刻工藝中表現(xiàn)出的極限分辨率達(dá)120nm，且工藝寬容度更大，穩(wěn)定性更高，堅(jiān)膜后烘留膜率優(yōu)秀，其對后道刻蝕工藝表現(xiàn)更為友好，通過驗(yàn)證發(fā)現(xiàn)T150 A中密集圖形經(jīng)過刻蝕，下層介質(zhì)的側(cè)壁垂直度表現(xiàn)優(yōu)異”。

有業(yè)內(nèi)人士稱，太紫微光稱其產(chǎn)品已通過半導(dǎo)體工藝量產(chǎn)驗(yàn)證，并實(shí)現(xiàn)配方全自主設(shè)計(jì)，但最終成效還是要看市場與客戶的反饋。據(jù)介紹，光刻膠產(chǎn)品在客戶端驗(yàn)證周期通常需要2年。

太紫微公司團(tuán)隊(duì)來源

據(jù)悉，太紫微公司由華中科技大學(xué)武漢光電國家研究中心團(tuán)隊(duì)創(chuàng)立。該團(tuán)隊(duì)立足于關(guān)鍵光刻膠底層技術(shù)研發(fā)，在電子化學(xué)品領(lǐng)域深耕二十余載。武漢光電國家研究中心是科技部于2017年批準(zhǔn)建設(shè)的第一批，也是唯一的一批6個(gè)國家研究中心之一，其前身為2003年獲批的武漢光電國家實(shí)驗(yàn)室（籌）。
值得注意的是，天眼查信息顯示，太紫微公司成立于2024年5月31日，注冊資本200萬元，實(shí)控人為朱明強(qiáng)，最終受益股份77%。
除了朱明強(qiáng)本人外，太紫微公司的另外兩家股東，湖北高碳光電科技有限公司、武漢市馬斯洛普管理咨詢合伙企業(yè)，朱明強(qiáng)則分別持股100%和8%。
據(jù)公開信息顯示，朱明強(qiáng)為華中科技大學(xué)武漢光電國家研究中心二級教授，光學(xué)與電子信息學(xué)院雙聘教授。主要研究領(lǐng)域?yàn)橛袡C(jī)及納米光電子學(xué)，研究方向包括集中于光刻制造、有機(jī)納米光電子學(xué)和超分辨率成像。

光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈有哪些?

光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈涵蓋了從上游原材料生產(chǎn)到下游應(yīng)用領(lǐng)域的多個(gè)環(huán)節(jié)。
上游環(huán)節(jié)主要依托基礎(chǔ)化工原料，生產(chǎn)樹脂、光引發(fā)劑、溶劑、單體等電子化學(xué)品，這些原材料的質(zhì)量和性能對光刻膠的最終品質(zhì)有著直接影響。樹脂作為光刻膠的主要成膜物質(zhì)，對光刻膠性能有重要影響，起到支撐作用，使其具有耐刻蝕性能；光引發(fā)劑是光刻膠中的光敏成分，能發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)；單體則參與光固化反應(yīng)，降低體系黏度，調(diào)節(jié)材料性能；溶劑則賦予光刻膠流動(dòng)性，便于涂布。
中游環(huán)節(jié)為光刻膠成品制造，包括PCB光刻膠、面板光刻膠和半導(dǎo)體光刻膠等，制造商需具備性能評價(jià)、嚴(yán)格生產(chǎn)管理、潔凈生產(chǎn)、微量分析等關(guān)鍵技術(shù)，以確保產(chǎn)品質(zhì)量和穩(wěn)定性。
下游環(huán)節(jié)則涉及印刷電路板、顯示面板和電子芯片等應(yīng)用領(lǐng)域，這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子、航空航天、軍工等領(lǐng)域。
整體而言，光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈技術(shù)壁壘、專利壁壘、資本壁壘較高，客戶粘性大，上游原材料供應(yīng)深度綁定。但近年來，隨著相關(guān)產(chǎn)業(yè)向東轉(zhuǎn)移，國內(nèi)光刻膠需求快速增長，相關(guān)企業(yè)也在積極突破，努力實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代。數(shù)據(jù)顯示，其中KrF、ArF光刻膠對外依賴最為嚴(yán)重，國產(chǎn)化率均僅在1%水平。
西部證券指出，我國半導(dǎo)體光刻膠市場超90%主要依賴進(jìn)口，本土廠商雖起步較晚，但目前處于國產(chǎn)化加速期。
據(jù)芯傳感了解，光刻膠技術(shù)核心在于配方，它決定了光刻膠的性能和應(yīng)用。同時(shí)，質(zhì)量控制技術(shù)確保產(chǎn)品穩(wěn)定可靠。高純度、高穩(wěn)定性的原材料是基礎(chǔ)，光活性物質(zhì)決定感光度與分辨率，感光樹脂影響硬度、柔韌性和附著力，而溶劑則使光刻膠便于涂布加工。
這些要點(diǎn)共同構(gòu)成了光刻膠技術(shù)的精髓，使其能夠滿足不同領(lǐng)域的高精度需求。