產(chǎn)品詳情:
在線真空等離子清洗機廠家直銷(深圳市誠峰智造有限公司):
等離子體清洗技術(shù)的最大特點是不分處理對象的基材類型,均可進行處理,對玻璃、金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理,并可實現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。 等離子體的”活性”組分包括:離子、電子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子體表面處理儀就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等目的。
等離子清洗設(shè)備的原理是在真空下,然后利用交流電場使工藝氣體成為等離子體,并與有機污染物及微顆粒污染物反應(yīng)或碰撞形成揮發(fā)性物質(zhì), 由工作氣體流及真空泵將這些揮發(fā)性物質(zhì)清除出去, 從而使工件達到表面清潔活化。等離子清洗是剝離式清洗, 等離子清洗的特點是清洗之后對環(huán)境無污染。在線式等離子清洗設(shè)備是在成熟的等離子體清洗工藝技術(shù)和設(shè)備制造基礎(chǔ)上, 增加上下料、物料傳輸?shù)茸詣踊δ?。針對IC封裝中引線框架上點膠裝片、芯片鍵合及塑封等工藝前清洗, 大大提高粘接及鍵合強度等性能的同時, 避免人為因素長時間接觸引線框架而導(dǎo)致的二次污染以及腔體式批量清洗時間長有可能造成的芯片損傷。
在線式真空等離子清洗機的主要結(jié)構(gòu)包括:上下料推料機構(gòu)、上下料置取料平臺、上下料提升系統(tǒng)、上下料傳輸系統(tǒng)、上下料撥料機構(gòu)、反應(yīng)倉、設(shè)備主體框架和電氣控制系統(tǒng)等。
在線式真空等離子清洗機自動搬運物料的設(shè)計理念,與常規(guī)等離子清洗系統(tǒng)相比,降低了人工搬運過成,提高了設(shè)備自動化水平。
等離子清洗屬于一種高精密的干式清洗方式,原理是在真空狀態(tài)下利用射頻源產(chǎn)生的高壓交變電場將氧、氬、氫等工藝氣體激發(fā)成具有高反應(yīng)活性或高能量的離子,通過化學(xué)反應(yīng)或物理作用對工件表面進行處理,實現(xiàn)分子水平的沾污去除,提高表面活性。對應(yīng)不同的污染物,應(yīng)采用不同的清洗工藝,達到最佳的清洗效果。
隨著在線式真空等離子清洗機及工藝在IC封裝領(lǐng)域內(nèi)的應(yīng)用越來越廣泛,并以其優(yōu)良的工藝性能促進了微電子行業(yè)技術(shù)的快速發(fā)展,成為21世紀(jì)IC封裝領(lǐng)域內(nèi)關(guān)鍵生產(chǎn)裝置,成為提高產(chǎn)品可靠性和成品率的重要手段,是生產(chǎn)中不可缺少的步驟。
性能優(yōu)勢:
1、原裝進口電源:采用原裝進口高壓激勵電源電路技術(shù),產(chǎn)生高密度等離子體,確保出眾的清洗效果。
2、全面安全防護:溫度安全防護功能,過載防護功能,短路斷路報警防護功能,各種誤操作保護功能。
3、獨有放電技術(shù):特殊處理及特殊結(jié)構(gòu)的放電裝置,確保形成穩(wěn)定均勻的等離子體。
4、密封性卓越的真空腔體設(shè)計:軍工級的高真空度真空腔體設(shè)計及制造工藝,配置進口真空泵。
5、優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品部件:產(chǎn)品全部部件采用國內(nèi)外優(yōu)質(zhì)部件,確保設(shè)備性能優(yōu)越
6、超低清洗溫度:滿足不同場合溫度要求,不對清洗產(chǎn)品造成溫度影響。
7、精密數(shù)控加工:進口精密CNC數(shù)控機床加工工藝,并配備進口三坐標(biāo)測量儀進行質(zhì)量監(jiān)控。
8、適用形狀復(fù)雜樣品:清洗各種復(fù)雜形狀的產(chǎn)品,包括內(nèi)孔內(nèi)壁,均勻清洗。