普渡大學(xué)自我校正MEMS提供靈敏的感測能力

      MEMS Sensor微機(jī)電傳感器對現(xiàn)在的電子產(chǎn)品而言已經(jīng)不是新產(chǎn)物，MEMS傳感器是把模擬的傳感器直接結(jié)合電路組件透過半導(dǎo)體制成生產(chǎn)的產(chǎn)物，借此縮小通過傳統(tǒng)工藝難以縮小的傳感器，舉凡智能手機(jī)、汽車、游戲機(jī)內(nèi)都可看到這類的產(chǎn)品，不過普渡大學(xué)的Jason Vaughn Clark要讓MEMS傳感器再次革新，他聲稱已經(jīng)開發(fā)出一套結(jié)合Electro micro metrology（EMM）的工藝制程，可讓傳感器進(jìn)行自我校正，提供更精確的感測能力，這也是業(yè)界首個不需要通過外部裝置的自我校正MEMS傳感器架構(gòu)。普渡大學(xué)認(rèn)為這項技術(shù)有助于犯罪搜證、環(huán)境檢測與醫(yī)療診斷提供更好的效果。