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普渡大學(xué)自我校正MEMS提供靈敏的感測能力
作者:RFID世界網(wǎng) 收編
來源:engadget中文版
日期:2010-08-25 10:59:32
摘要:普渡大學(xué)的Jason Vaughn Clark要讓MEMS傳感器再次革新,他聲稱已經(jīng)開發(fā)出一套結(jié)合Electro micro metrology(EMM)的工藝制程,可讓傳感器進(jìn)行自我校正,提供更精確的感測能力,這也是業(yè)界首個不需要通過外部裝置的自我校正MEMS傳感器架構(gòu)。
MEMS Sensor微機(jī)電傳感器對現(xiàn)在的電子產(chǎn)品而言已經(jīng)不是新產(chǎn)物,MEMS傳感器是把模擬的傳感器直接結(jié)合電路組件透過半導(dǎo)體制成生產(chǎn)的產(chǎn)物,借此縮小通過傳統(tǒng)工藝難以縮小的傳感器,舉凡智能手機(jī)、汽車、游戲機(jī)內(nèi)都可看到這類的產(chǎn)品,不過普渡大學(xué)的Jason Vaughn Clark要讓MEMS傳感器再次革新,他聲稱已經(jīng)開發(fā)出一套結(jié)合Electro micro metrology(EMM)的工藝制程,可讓傳感器進(jìn)行自我校正,提供更精確的感測能力,這也是業(yè)界首個不需要通過外部裝置的自我校正MEMS傳感器架構(gòu)。普渡大學(xué)認(rèn)為這項技術(shù)有助于犯罪搜證、環(huán)境檢測與醫(yī)療診斷提供更好的效果。