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GlobalFoundries推進MEMS晶圓量產(chǎn)

作者:王霄
來源:新浪科技
日期:2010-10-26 16:22:33
摘要:GlobalFoundries200mm晶圓事業(yè)部高級副總裁Raj-Kumar今天在上海透露,GlobalFoundries的MEMS晶圓量產(chǎn)能力目前在2000-3000片/月,而隨著技術(shù)的改進和工藝裝備的革新,未來2-3年月產(chǎn)能有望增加2倍。
      10月15日消息,GlobalFoundries200mm晶圓事業(yè)部高級副總裁Raj-Kumar近期在上海透露,GlobalFoundries的MEMS晶圓量產(chǎn)能力目前在2000-3000片/月,而隨著技術(shù)的改進和工藝裝備的革新,未來2-3年月產(chǎn)能有望增加2倍。

  Raj-Kumar是在出席全球技術(shù)論壇(GTC)時向媒體做上述表示的。

  他表示相比其他半導體技術(shù),MEMS行業(yè)不是那么統(tǒng)一和規(guī)范,因此GlobalFoundries的一個目標就是努力推進MEMS的標準化。

  他同時否認了GlobalFoundries將為MEMS新建生產(chǎn)線的說法,而是改進現(xiàn)有200mm晶圓生產(chǎn)線。“MEMS和200mm晶圓生產(chǎn)線在前端設備方面是一樣的,但在后端需要加上相關專屬設備,因此GlobalFoundries不會再新建生產(chǎn)線?!彼硎?。

  微機電系統(tǒng)(MEMS)是半導體市場成場最快的區(qū)塊之一,GlobalFoundries在MEMS方面的研發(fā)將著重于加速計、陀螺儀及無線電射頻微機電系統(tǒng)。

  而在10月13日,GlobalFoundries宣布與SVTC技術(shù)公司結(jié)成戰(zhàn)略聯(lián)盟,SVTC將協(xié)助GlobalFoundries使用全系列的先進CMOS與MEMS設備,為顧客開發(fā)硅晶圓解決方案,同時為GlobalFoundries工程師提供MEMS技術(shù)研發(fā)支持及培訓。

  Raj-Kumar同時透露GlobalFoundries希望通過當下的系列措施,到2015年成為大型MEMS晶圓代工廠。

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