GlobalFoundries推進MEMS晶圓量產(chǎn)

      10月15日消息，GlobalFoundries200mm晶圓事業(yè)部高級副總裁Raj-Kumar近期在上海透露，GlobalFoundries的MEMS晶圓量產(chǎn)能力目前在2000-3000片/月，而隨著技術(shù)的改進和工藝裝備的革新，未來2-3年月產(chǎn)能有望增加2倍。

　　Raj-Kumar是在出席全球技術(shù)論壇(GTC)時向媒體做上述表示的。

　　他表示相比其他半導體技術(shù)，MEMS行業(yè)不是那么統(tǒng)一和規(guī)范，因此GlobalFoundries的一個目標就是努力推進MEMS的標準化。

　　他同時否認了GlobalFoundries將為MEMS新建生產(chǎn)線的說法，而是改進現(xiàn)有200mm晶圓生產(chǎn)線。“MEMS和200mm晶圓生產(chǎn)線在前端設備方面是一樣的，但在后端需要加上相關專屬設備，因此GlobalFoundries不會再新建生產(chǎn)線?！彼硎?。

　　微機電系統(tǒng)(MEMS)是半導體市場成場最快的區(qū)塊之一，GlobalFoundries在MEMS方面的研發(fā)將著重于加速計、陀螺儀及無線電射頻微機電系統(tǒng)。

　　而在10月13日，GlobalFoundries宣布與SVTC技術(shù)公司結(jié)成戰(zhàn)略聯(lián)盟，SVTC將協(xié)助GlobalFoundries使用全系列的先進CMOS與MEMS設備，為顧客開發(fā)硅晶圓解決方案，同時為GlobalFoundries工程師提供MEMS技術(shù)研發(fā)支持及培訓。

　　Raj-Kumar同時透露GlobalFoundries希望通過當下的系列措施，到2015年成為大型MEMS晶圓代工廠。